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橢偏儀是一種利用偏振態(tài)的變化 后光束探測樣品反應技術。不像反射儀,參數(shù)(PSI和Del)是在非正常的入射角得到。改變?nèi)肷浣恰?梢缘玫礁嗟臄?shù)據(jù)集,這將有助于精煉模型,減少不確定性和提高用戶的數(shù)據(jù)信心。因此,可變角度比固定角度的系統(tǒng)具有更強大的功能 。目前有兩種方法改變?nèi)肷浣?,手動或自動模式?/p>
薄膜應力測量系統(tǒng):在硅片等基板上附膜時,由于基板和薄膜的物理定數(shù)有異,產(chǎn)生應力,進而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現(xiàn)為基板的翹曲,而薄膜應力測量裝置FLX系列可從這個翹曲(曲率半徑)的變化量測量其應力。
薄膜反射儀是一款相對較低成本和操作簡單的工具。基于陣列的探測器系統(tǒng)保證快速測量,可升級到MSP(顯微分光光度計)系統(tǒng),SRM映射系統(tǒng),多通道系統(tǒng),大點的·直接測量圖案或功能結構。
光學接觸角測量儀可根據(jù)客戶的需求,針對不同的工作測試環(huán)境,提供相應的解決方案,如有技術請咨詢德國韋氏納米系統(tǒng)
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