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光刻膠蝕刻殘留物清洗劑Post-CMP Cleans是一款由杜邦研發(fā)與生產(chǎn)的清洗劑，PCMP清洗劑適用于前端工藝（FEOL）中的氧化鈰、多晶硅、二氧化硅材料，中端工藝（MEOL）中的鎢材料，以及后端工藝（BEOL）中的銅材料制程
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