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半導(dǎo)體薄膜生長(zhǎng)表面檢測(cè)KLA Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺(tái)階高度。D-600 還支持2D和3D的粗糙度測(cè)量，以及用于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)的2D翹曲度和應(yīng)力測(cè)量。D-600 包含一個(gè)帶有200 毫米樣品載臺(tái)的電動(dòng)樣品臺(tái)和具有增強(qiáng)影像控制的高級(jí)光學(xué)器件。
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