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KLA iMicro納米壓痕儀可輕松測(cè)量硬質(zhì)涂層、薄膜和小尺寸材料等。其準(zhǔn)確、靈活，并且用戶友好，可以提供壓痕、硬度測(cè)試、劃痕和納米級(jí)萬(wàn)能試驗(yàn)等多種納米力學(xué)測(cè)試。作動(dòng)器易于更換，能夠提供大范圍的動(dòng)態(tài)載荷和位移，對(duì)于從軟質(zhì)聚合物到硬質(zhì)金屬/陶瓷等材料，均可以進(jìn)行準(zhǔn)確而可重復(fù)的測(cè)試。模塊化的功能選項(xiàng)可以適配各種應(yīng)用：材料力學(xué)特性圖譜、頻率相關(guān)特性測(cè)試、劃痕和磨損測(cè)試以及高溫測(cè)試。

KLA Filmetrics F50薄膜厚度測(cè)量?jī)x采用自動(dòng)化R-Theta平臺(tái)，支持標(biāo)準(zhǔn)和定制化樣品夾盤，最大樣品直徑達(dá)450毫米，能高效測(cè)繪薄膜厚度。該設(shè)備適用于多種厚度和類型的薄膜，包括薄至5納米或厚至250微米的薄膜，并可根據(jù)不同需求選擇不同波長(zhǎng)范圍的型號(hào)。

KLA Candela® 8420表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)它使用多通道檢測(cè)和基于規(guī)則的缺陷分類，對(duì)不透明、半透明和透明晶圓(如砷化鎵、磷化銦、鉭酸鋰、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石和其他化合物半導(dǎo)體材料)提供微粒和劃痕檢測(cè)。 8420表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)采用了專有的OSA（光學(xué)表面分析儀）架構(gòu)，可以同時(shí)測(cè)量散射強(qiáng)度、形貌變化、表面反射率和相位變化，從而對(duì)各種關(guān)鍵缺陷進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)與分類。

KLA Filmetrics F40薄膜厚度測(cè)量?jī)x通過(guò)將顯微鏡轉(zhuǎn)變?yōu)楸∧y(cè)量工具，實(shí)現(xiàn)小至1微米光斑的厚度和折射率測(cè)量。該設(shè)備配備集成彩色攝像機(jī)，可在1秒內(nèi)完成測(cè)量，并且支持多種型號(hào)以適應(yīng)不同厚度和波長(zhǎng)范圍的需求。用戶只需將其連接至Windows計(jì)算機(jī)并通過(guò)USB端口操作即可。此外，F(xiàn)40系列提供全面的技術(shù)支持和材料庫(kù)，方便用戶進(jìn)行精確測(cè)量。

KLA Filmetrics F30薄膜厚度測(cè)量?jī)x通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)控沉積過(guò)程，提供高精度、快速且非侵入式的測(cè)量解決方案，適用于多種半導(dǎo)體和電介質(zhì)材料。其主要特點(diǎn)包括提高生產(chǎn)力、低成本、高精度及易用性。該系列產(chǎn)品覆蓋不同厚度和波長(zhǎng)范圍，滿足多樣化測(cè)量需求。