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KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測(cè)量?jī)x系列，涵蓋近紅外光波長(zhǎng)范圍980 nm、1310 nm及1550 nm，能夠測(cè)量從15納米至3毫米的薄膜厚度，適用于半導(dǎo)體與介電層等材料。該設(shè)備具備單點(diǎn)測(cè)量功能，配備10微米光斑尺寸的集成光譜儀和光源，并支持?jǐn)U展功能如自動(dòng)化測(cè)繪平臺(tái)和不同波長(zhǎng)選項(xiàng)。此外，它還提供了超過(guò)130種材料的數(shù)據(jù)庫(kù)支持，以及在線技術(shù)支持服務(wù)。

KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測(cè)量系統(tǒng)專為微小視野及樣品設(shè)計(jì)，支持快速、簡(jiǎn)易的厚度測(cè)量，適用于聚對(duì)二甲苯和真空鍍膜層等。其具備自動(dòng)校正功能，可自動(dòng)調(diào)節(jié)靈敏度并簡(jiǎn)化設(shè)置過(guò)程。系統(tǒng)可通過(guò)USB供電，并兼容多種Windows操作系統(tǒng)。

KLA Filmetrics F10-RT薄膜厚度測(cè)量?jī)x通過(guò)同時(shí)測(cè)量反射和透射光譜，實(shí)現(xiàn)真空鍍膜的快速、精確分析。該設(shè)備價(jià)格合理，具備分析、FWHM確定及顏色分析功能，并可通過(guò)選配模塊擴(kuò)展其厚度和折射率測(cè)量能力。配備FILMeasure 8軟件和多種參考材料，支持多種薄膜類型，覆蓋從紫外到近紅外的寬波長(zhǎng)范圍，提供高效的測(cè)量結(jié)果輸出及全面的技術(shù)支持服務(wù)。

KLA Filmetrics F10-HC薄膜厚度測(cè)量?jī)x是一款專為測(cè)量單層和多層硬涂層設(shè)計(jì)的儀器，基于F20平臺(tái)，采用光譜反射分析技術(shù)，提供快速準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。該設(shè)備已在世界各地廣泛使用，尤其受到汽車硬涂層公司的青睞。附帶全套軟件、探頭及參考材料等配件，并提供持續(xù)的技術(shù)支持與升級(jí)服務(wù)。

KLA Filmetrics F20臺(tái)式薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng);經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的膜厚儀系列在幾秒鐘內(nèi)就能完成高精度的薄膜厚度測(cè)量。這些易于使用的儀器與智能軟件和一系列附件和配置相結(jié)合，可提供最大的通用性，可測(cè)量厚度為 1 納米至 3 毫米的薄膜。