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KLA Filmetrics F10-ARc薄膜厚度測量儀便攜式反射儀帶有內部光纖，利用具有長壽命、低功率光源可以測量曲面上的減反射涂層厚度。以極低的價格在幾秒鐘內測量到顏色、反射率和薄膜厚度。

KLA Filmetrics F10-AR薄膜厚度測量儀便攜式反射儀帶有內部光纖，利用具有長壽命、低功率光源可以測量曲面上的減反射涂層厚度。以極低的價格在幾秒鐘內測量到顏色、反射率和薄膜厚度。

KLA Filmetrics R50系列四探針電阻測試儀，方塊電阻測試儀可對金屬層厚度、薄膜電阻、薄膜電阻率、薄膜電導和薄膜電導率進行測繪。R54是方塊電阻測量的最新一代升級款，它在保持 R50相同性能情況下提供遮光環(huán)境，能夠支持半導體和化合物半導體應用。

KLA NanoFlip納米壓痕儀可在真空和氣氛條件下，準確、精密地進行硬度、模量、屈服強度、剛度和其它納米力學性能的測試。無論在掃描電子顯微鏡(SEM)或是聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)中，NanoFlip均可出色完成微柱壓縮等測試，并將SEM圖像與力學測試數(shù)據(jù)同步。NanoFlip是一款緊湊、靈活的原位納米力學測試儀，其測試速度快，這對于在惰性條件下（例如手套箱中）測試非均質材料至關重要。

KLA iNano®納米壓痕儀使測量薄膜、涂層和小體積材料變得更簡單。準確、靈活、用戶友好的儀器可以進行多樣的納米材料力學測試，包括壓痕、硬度、劃痕和通用的納米尺度測試。大范圍的力和位移動態(tài)測量范圍允許對從軟聚合物到金屬的材料進行精確和可重復的測試。 模塊選項可以適配各種應用：材料性能分布圖、特定頻率的測試、劃痕和磨損測試以及高溫測試。