KLA iNano®納米壓痕儀采用了用于執(zhí)行納米壓痕和通用納米機(jī)械測(cè)試的InForce 50作動(dòng)器。InForce 50的50 mN力和50µm位移范圍允許該系統(tǒng)執(zhí)行廣泛的測(cè)試。InView 軟件包靈活、現(xiàn)代，讓用戶輕松進(jìn)行納米尺度測(cè)試。KLA iNano®納米壓痕儀是一個(gè)緊湊的平臺(tái)，內(nèi)置有高速InQuest控制器和隔振機(jī)架?？梢詼y(cè)試各種材料和裝置，包括金屬、陶瓷、復(fù)合材料、薄膜、涂層、聚合物、生物物質(zhì)和凝膠。

功能

• InForce 50作動(dòng)器用于電容位移測(cè)量和電磁力驅(qū)動(dòng)，具有可互換的壓頭

• 軟件集成壓頭校準(zhǔn)系統(tǒng)，精確的壓頭校準(zhǔn)

• Inquest高速電子控制器，具有100kHz數(shù)據(jù)采集速率和20µs時(shí)間常數(shù)

• XY移動(dòng)系統(tǒng)帶有易于安裝的磁性樣品架

• 具有數(shù)字變焦功能的集成顯微鏡，可獲得精確的壓痕定位

• ISO 14577和標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試方法

• 包含RunTest、ReviewData、InFocus報(bào)告、 InView University 在線培訓(xùn)和InView移動(dòng)應(yīng)用程序的InView軟件包

應(yīng)用

• 硬度和模量測(cè)量(Oliver-Pharr)

• 材料力學(xué)性能分布圖

• ISO 14577硬度測(cè)試

• 聚合物損耗因子

• 高溫納米壓痕測(cè)試

行業(yè)

• 大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

• 半導(dǎo)體和封裝行業(yè)

• 聚合物和塑料

• MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)/納米尺度通用測(cè)試

• 陶瓷和玻璃

• 金屬和合金

• 藥品

• 涂料和油漆

• 聚合物制造

• 復(fù)合材料

• 電池和儲(chǔ)能