KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測(cè)量?jī)x

簡(jiǎn)要描述：KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測(cè)量?jī)x系列，涵蓋近紅外光波長(zhǎng)范圍980 nm、1310 nm及1550 nm，能夠測(cè)量從15納米至3毫米的薄膜厚度，適用于半導(dǎo)體與介電層等材料。該設(shè)備具備單點(diǎn)測(cè)量功能，配備10微米光斑尺寸的集成光譜儀和光源，并支持?jǐn)U展功能如自動(dòng)化測(cè)繪平臺(tái)和不同波長(zhǎng)選項(xiàng)。此外，它還提供了超過(guò)130種材料的數(shù)據(jù)庫(kù)支持，以及在線技術(shù)支持服務(wù)。

產(chǎn)品型號(hào)：

所屬分類：薄膜厚度測(cè)量?jī)x

更新時(shí)間：2025-03-10

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測(cè)量?jī)x能測(cè)量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度較為不佳

波長(zhǎng)選配

KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測(cè)量?jī)x系列使用近紅外光來(lái)測(cè)量薄膜厚度，即使有許多肉眼看來(lái)不透光(例如半導(dǎo)體)。 F3-s980 是波長(zhǎng)為980奈米的版本，是為了針對(duì)成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計(jì),F3-s1310是針對(duì)重?fù)诫s硅片的最佳化設(shè)計(jì),F3-s1550則是為了最厚的薄膜設(shè)計(jì)。

附件

附件包含自動(dòng)化測(cè)繪平臺(tái)，一個(gè)影像鏡頭可看到量測(cè)點(diǎn)的位置以及可選配可見(jiàn)光波長(zhǎng)的功能使厚度測(cè)量能力最薄至15奈米。

包含的內(nèi)容：

集成光譜儀/光源裝置
光斑尺寸10微米的單點(diǎn)測(cè)量平臺(tái)
FILMeasure 8反射率測(cè)量軟件
Si 參考材料
FILMeasure 獨(dú)立軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)
型號(hào)規(guī)格
型號(hào) 厚度范圍波長(zhǎng)范圍
F3-s980 1μm-1mm
960-1000nm
F3-s1310 15μm-2mm
1280-1340nm
F3-s1550 25μm-3mm 1520-1580nm