KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測量系統(tǒng)專門為了微小視野及微小樣品測量設(shè)計, 任何人從一線操作到研&發(fā)人員都可以此簡易USB供電系統(tǒng)在數(shù)秒鐘內(nèi)測量如聚對二甲苯和真空鍍膜層厚度.

我們KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測量系統(tǒng)自動校正功能大幅縮短測量設(shè)置並可自動調(diào)節(jié)儀器的靈敏度, 使用免手持測量模式時, 只需簡單地將樣品面朝下放置在平臺上測量樣品 , 此時該系統(tǒng)已具備可測量數(shù)百種膜層所必要的一切設(shè)置不管膜層是否在透明或不透明基底上.

快速厚度測量

可選配FILMeasure厚度測量軟件使厚度測量就像在平臺上放置你的樣品一樣容易, 軟件內(nèi)建所有常見的電介質(zhì)和半導(dǎo)體層（包括C，N和HT型聚對二甲苯）的光學(xué)常數(shù)(n和k）,厚度結(jié)果會及時的以直覺的測量結(jié)果顯示對于進(jìn)階使用者，可以進(jìn)一步以F3-CS測量折射率, F3-CS可在任何運行Windows XP到 Windows8 64位作業(yè)系統(tǒng)的計算機上運行, USB電纜則提供電源和通信功能.

包含的內(nèi)容：

• USB供電之光譜儀/光源裝置

• FILMeasure 8 軟件

• 內(nèi)置樣品平臺

• BK7 參考材料

• 四萬小時光源壽命

型號規(guī)格