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KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測(cè)量系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測(cè)量系統(tǒng)專為微小視野及樣品設(shè)計(jì),支持快速、簡(jiǎn)易的厚度測(cè)量,適用于聚對(duì)二甲苯和真空鍍膜層等。其具備自動(dòng)校正功能,可自動(dòng)調(diào)節(jié)靈敏度并簡(jiǎn)化設(shè)置過(guò)程。系統(tǒng)可通過(guò)USB供電,并兼容多種Windows操作系統(tǒng)。

產(chǎn)品型號(hào):

所屬分類:薄膜厚度測(cè)量?jī)x

更新時(shí)間:2025-03-10

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹

KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測(cè)量系統(tǒng)專門為了微小視野及微小樣品測(cè)量設(shè)計(jì), 任何人從一線操作到研&發(fā)人員都可以此簡(jiǎn)易USB供電系統(tǒng)在數(shù)秒鐘內(nèi)測(cè)量如聚對(duì)二甲苯和真空鍍膜層厚度.

我們KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測(cè)量系統(tǒng)自動(dòng)校正功能大幅縮短測(cè)量設(shè)置並可自動(dòng)調(diào)節(jié)儀器的靈敏度, 使用免手持測(cè)量模式時(shí), 只需簡(jiǎn)單地將樣品面朝下放置在平臺(tái)上測(cè)量樣品 , 此時(shí)該系統(tǒng)已具備可測(cè)量數(shù)百種膜層所必要的一切設(shè)置不管膜層是否在透明或不透明基底上.

快速厚度測(cè)量

可選配FILMeasure厚度測(cè)量軟件使厚度測(cè)量就像在平臺(tái)上放置你的樣品一樣容易, 軟件內(nèi)建所有常見(jiàn)的電介質(zhì)和半導(dǎo)體層(包括C,N和HT型聚對(duì)二甲苯)的光學(xué)常數(shù)(n和k),厚度結(jié)果會(huì)及時(shí)的以直覺(jué)的測(cè)量結(jié)果顯示對(duì)于進(jìn)階使用者,可以進(jìn)一步以F3-CS測(cè)量折射率, F3-CS可在任何運(yùn)行Windows XP到 Windows8 64位作業(yè)系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)上運(yùn)行, USB電纜則提供電源和通信功能.

包含的內(nèi)容:

  • USB供電之光譜儀/光源裝置

  • FILMeasure 8 軟件

  • 內(nèi)置樣品平臺(tái)

  • BK7 參考材料

  • 四萬(wàn)小時(shí)光源壽命

型號(hào)規(guī)格

型號(hào)厚度范圍
波長(zhǎng)范圍

F3-CS

15nm-70μm
380-1050nm
F3-CS-UV3nm-40μm190-1100nm
F3-CS-NIR100nm-250μm
950-1700nm




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