簡要描述:KLA Filmetrics F20臺式薄膜厚度測量系統(tǒng);經(jīng)濟實惠的膜厚儀系列在幾秒鐘內(nèi)就能完成高精度的薄膜厚度測量。這些易于使用的儀器與智能軟件和一系列附件和配置相結(jié)合,可提供最大的通用性,可測量厚度為 1 納米至 3 毫米的薄膜。
產(chǎn)品型號:
所屬分類:薄膜厚度測量儀
更新時間:2025-03-10
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
只需按下一個按鈕,您在不到一秒鐘的同時測量厚度和折射率。設(shè)置同樣簡單, 只需插上設(shè)備到您運行Windows™系統(tǒng)計算機的USB端口, 并連接樣品平臺 , KLA Filmetrics F20臺式薄膜厚度測量系統(tǒng)已在世界各地有成千上萬的應(yīng)用被使用. 事實上,我們每天從我們的客戶學(xué)習(xí)更多的應(yīng)用。
擇您的KLA Filmetrics F20臺式薄膜厚度測量系統(tǒng)主要取決於您需要測量的薄膜的厚度(確定所需的波長范圍)
集成光譜儀/光源裝置
FILMeasure 8 軟件
FILMeasure 獨立軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)
SS-3 樣品平臺 及對應(yīng) 光纖電纜
參考材料
厚度標(biāo)準(zhǔn)
整平濾波器 (用于高反射基板)
備用燈
型號 | 厚度范圍* | 波長范圍 |
F20 | 15nm-70μm | 380-1050nm |
F20-EXR | 15nm-250μm | 380-1700nm |
F20-NIR | 100nm-250μm | 950-1700nm |
F20-UV | 1nm-40μm | 190-1100nm |
F20-UVX | 1nm-250μm | 190-1700nm |
F20-XT | 0.2μm-450μm | 1440-1690nm |
F3-sX系列 | 10μm-3mm | 960-1580nm |