KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀以市場(chǎng)的Tencor P-17臺(tái)式探針式輪廓儀系統(tǒng)為基礎(chǔ)。它涵蓋了P-17的優(yōu)秀測(cè)量性能，為臺(tái)式探針式輪廓儀提供了出色的性價(jià)比。KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，掃描范圍可達(dá)150mm，無需拼接。

特征

• 臺(tái)階高度：納米級(jí)到1000微米

• 恒定力控制：0.03至15mg

• 樣品的全直徑掃描，無需拼接

• 視頻：5MP高分辨率彩色相機(jī)

• 弧形校正：可消除探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

• 軟件：簡(jiǎn)單易用的軟件界面

• 生產(chǎn)能力：全自動(dòng)測(cè)量，具有測(cè)序、圖形識(shí)別和SECS/GEM功能

應(yīng)用

• 臺(tái)階高度：2D和3D臺(tái)階高度

• 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

• 形狀：2D和3D翹曲、形狀

• 應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力

• 缺陷檢測(cè)：2D和3D缺陷表面形貌

  
     

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工業(yè)

• 高校、實(shí)驗(yàn)室和研究所

• 半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

• LED：發(fā)光二極管

• 太陽能

• MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)

• 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

• 汽車

• 醫(yī)療器械