您的位置：網(wǎng)站首頁 > 產(chǎn)品中心 > KLA/科磊 > 探針式輪廓儀 > KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀
簡要描述：KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)節(jié)提供了從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達150毫米，無需拼接。
產(chǎn)品型號：
所屬分類：探針式輪廓儀
更新時間：2025-05-09
廠商性質：生產(chǎn)廠家
KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀以市場的Tencor P-17臺式探針式輪廓儀系統(tǒng)為基礎。它涵蓋了P-17的優(yōu)秀測量性能，為臺式探針式輪廓儀提供了出色的性價比。KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，掃描范圍可達150mm，無需拼接。
臺階高度：納米級到1000微米
恒定力控制：0.03至15mg
樣品的全直徑掃描，無需拼接
視頻：5MP高分辨率彩色相機
弧形校正：可消除探針的弧形運動引起的誤差
軟件：簡單易用的軟件界面
生產(chǎn)能力：全自動測量，具有測序、圖形識別和SECS/GEM功能
臺階高度：2D和3D臺階高度
紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
形狀：2D和3D翹曲、形狀
應力：2D和3D薄膜應力
缺陷檢測：2D和3D缺陷表面形貌
高校、實驗室和研究所
半導體和化合物半導體
LED：發(fā)光二極管
太陽能
MEMS：微機電系統(tǒng)
數(shù)據(jù)存儲
汽車
醫(yī)療器械
地址：廣東省深圳市寶安區(qū)鐵仔路九方廣場2棟902室
郵箱：support@firstnanosystem.com
傳真：400-9999-185
咨詢電話