Model 800E 增強(qiáng)型半自動(dòng)紫外掩膜曝光機(jī)
簡(jiǎn)要描述:Model 800E 增強(qiáng)型半自動(dòng)紫外掩膜曝光機(jī)由OAI設(shè)計(jì)與制造在半導(dǎo)體行業(yè),OAI 擁有 40 余年產(chǎn)品研發(fā)和制造經(jīng)驗(yàn),以專(zhuān)為研發(fā)及半自動(dòng)生產(chǎn)設(shè)計(jì)的光刻設(shè)備,應(yīng)對(duì)動(dòng)態(tài)市場(chǎng)日益增長(zhǎng)的挑戰(zhàn)。800E 型基于經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的 OAI 模塊化平臺(tái)打造,是一套增強(qiáng)型、高性能、高分辨率光刻系統(tǒng),在該價(jià)格段性能好。對(duì)準(zhǔn)器搭載 OAI 先進(jìn)光束光學(xué)技術(shù),均勻性佳。
產(chǎn)品型號(hào):
所屬分類(lèi):Model 800E 紫外掩膜曝光機(jī)
更新時(shí)間:2025-07-04
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
詳情介紹

Model 800E 增強(qiáng)型半自動(dòng)紫外掩膜曝光機(jī)
在半導(dǎo)體行業(yè),OAI 擁有 40 余年產(chǎn)品研發(fā)和制造經(jīng)驗(yàn),以專(zhuān)為研發(fā)及半自動(dòng)生產(chǎn)設(shè)計(jì)的光刻設(shè)備,應(yīng)對(duì)動(dòng)態(tài)市場(chǎng)日益增長(zhǎng)的挑戰(zhàn)。800E 型基于經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的 OAI 模塊化平臺(tái)打造,是一套增強(qiáng)型、高性能、高分辨率光刻系統(tǒng),在該價(jià)格段性?xún)r(jià)比高。對(duì)準(zhǔn)器搭載 OAI 先進(jìn)光束光學(xué)技術(shù),良好均勻性。借助 OAI 精密光刻模塊可實(shí)現(xiàn)升級(jí),800E 型成為實(shí)驗(yàn)室或現(xiàn)場(chǎng)適用的多功能工具。它采用 Windows 10 控制及配方存儲(chǔ)功能,還配備操縱桿控制的對(duì)準(zhǔn)和光學(xué)載臺(tái),可配置非接觸式三點(diǎn)楔效應(yīng)校正及自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能。這些特性組合常見(jiàn)于更昂貴的掩模對(duì)準(zhǔn)器,而 800E 型以實(shí)惠價(jià)格即可提供 。
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配備雙 100 萬(wàn)像素分辨率的千兆以太網(wǎng)(GIGE)CCD 相機(jī)
可處理最大 8 英寸見(jiàn)方的基板,掩模最大為 9 英寸 ×9 英寸
由帶配方存儲(chǔ)功能的 Windows 電腦控制
電動(dòng)操縱桿用于對(duì)準(zhǔn)和定位
曝光模式:真空、硬接觸、軟接觸和接近式
自動(dòng)楔效應(yīng)補(bǔ)償
半自動(dòng)正面對(duì)準(zhǔn)背面對(duì)準(zhǔn)先進(jìn)光束光學(xué)系統(tǒng)2相機(jī)和4相機(jī)版本多種可選配置

