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Model 2000 邊緣去膠紫外泛光曝光機(jī)由OAI設(shè)計(jì)與制造 2000SM型可顯著減少因常規(guī)晶圓操作而產(chǎn)生的顆粒污染。在OAI 2000SM型和2000FL型系統(tǒng)中，機(jī)器人是主要移動(dòng)部件，這一設(shè)計(jì)極大地簡(jiǎn)化了這套系統(tǒng)。