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VSS-650 真空焊接系統(tǒng) 適用于最大尺寸達(dá) 600 毫米 ×600 毫米的基板。升溫速率最高可達(dá) 240 開爾文 / 分鐘，降溫速率最高可達(dá) 90 開爾文 / 分鐘。配備 10 英寸觸控面板的 SIMATIC® 控制器。真空度可達(dá) 10?³ 百帕（可選配至 10??百帕 ）。帶有用于氮?dú)獾馁|(zhì)量流量控制器的工藝氣體管路。溫度最高可達(dá) 450 攝氏度。