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VSS-450-300 臺(tái)式真空燒結(jié)爐 適用基板尺寸最大為 300 毫米 ×300 毫米 ×70 毫米。升溫速率最高達(dá) 150 開爾文 / 分鐘。真空度可達(dá) 10?³ 百帕（可選 10??百帕）。