VSS-450-300 臺(tái)式真空燒結(jié)爐

簡(jiǎn)要描述：VSS-450-300 臺(tái)式真空燒結(jié)爐
適用基板尺寸最大為 300 毫米 ×300 毫米 ×70 毫米。升溫速率最高達(dá) 150 開(kāi)爾文 / 分鐘。真空度可達(dá) 10?³ 百帕（可選 10??百帕）。

產(chǎn)品型號(hào)：

所屬分類(lèi)：VSS-450-300 臺(tái)式真空燒結(jié)爐

更新時(shí)間：2025-07-11

廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家

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詳情介紹

VSS-450-300 臺(tái)式真空燒結(jié)爐

腔室：
腔室尺寸：350毫米 x 350毫米 x 75毫米（可選配增高至120毫米，帶有直徑65毫米的圓形觀(guān)察窗口）
可選：增加開(kāi)口高度：200毫米至300毫米
腔室壁：鋁材打磨，易于清潔（可選不銹鋼）

填料：
蓋子：垂直打開(kāi)和關(guān)閉（頂部填料器）
可直接或遠(yuǎn)程控制進(jìn)行自動(dòng)應(yīng)用（SPS、機(jī)器人等）
升溫速率：高達(dá)150K/分鐘
降溫速率：高達(dá)120K/分鐘

加熱：
底部加熱：2組12個(gè)交叉式燈管，總功率18千瓦
頂部加熱：根據(jù)要求提供

冷卻：
腔室：通過(guò)310毫米 x 310毫米的水冷石墨板進(jìn)行冷卻
過(guò)程控制：
控制：帶有7英寸觸摸屏的SIMATIC SPS
軟件：過(guò)程控制、編程、記錄和過(guò)程文檔
可存儲(chǔ)50個(gè)程序，每個(gè)程序具有50個(gè)步驟

工藝氣體：
標(biāo)配1個(gè)質(zhì)量流量控制器，5 nlm（標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘）
可選：最多4條氣體線(xiàn)路

真空（可選）：
MPC（化學(xué)耐久性膜泵）：10 hPa。通過(guò)壓力表監(jiān)測(cè)。
RVP（旋轉(zhuǎn)葉片泵）：10exp.-3 hPa。真空傳感器可達(dá)10exp.-3 mbar

連接：
電源：1 x [CEE 3 x 32 A / 3~ +N+ PE, 230 V]。背面。
真空連接器：KF 25
排氣口：KF16。后側(cè)。
氣體線(xiàn)路：4毫米外徑Swagelok壓縮接頭

尺寸/重量：
尺寸：540毫米 x 690毫米 x 890毫米（寬 x 深 x 高）
重量：約140千克

VSS-450-300 臺(tái)式真空燒結(jié)爐

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VSS - 300 真空工藝烘箱
VSS - 300 回流焊系統(tǒng)是一款出色的設(shè)備，適用于多種焊接工藝，可處理直徑達(dá) 300 毫米的晶圓，或 300 毫米 ×300 毫米、高度 75 毫米的基板（選配件：EH 型，高度 120 毫米）。
應(yīng)用示例如下：
可作為實(shí)驗(yàn)室爐，供各類(lèi)研發(fā)人員實(shí)施和研究新工藝、進(jìn)行原型研究、環(huán)境研究，以及用于小批量試產(chǎn)或量產(chǎn) 。
工藝氣體
VSS - 300 可使用標(biāo)準(zhǔn)工藝氣體，如氮?dú)?、氧氣、形成氣（還原氣）。腔室密封，易于清潔。
氣流控制
默認(rèn)配置一路帶質(zhì)量流量控制器（MFC ）的氮?dú)饬髀罚? 標(biāo)準(zhǔn)升 / 分鐘），還可增配三路氣路（選配件：MFC ）。
真空度
系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)真空度達(dá) 10?3 百帕（可選配至 10?? 百帕）。
加熱
可達(dá)到的最高溫度為 450°C（選配件：650°C ）。關(guān)鍵特點(diǎn)是精準(zhǔn)控制的快速升溫（150 開(kāi)爾文 / 分鐘）以及出色的降溫速率（取決于溫度和負(fù)載）。
溫度分布
VSS - 300 能實(shí)現(xiàn)的溫度分布與均勻性。可選配在石英底板上插入石墨基座。
編程控制
VSS - 300 由 SPS SIMATIC® 控制器控制。7 英寸觸摸屏讓工藝編程與控制十分便捷。最多可存儲(chǔ) 50 個(gè)程序，每個(gè)程序含 50 個(gè)步驟（可從外部數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備無(wú)限制地上傳、下載程序）。
工藝控制
軟件可對(duì)以下參數(shù)進(jìn)行持續(xù)監(jiān)測(cè)、讀取和分析：

溫度
工藝氣體流量
冷卻水位狀態(tài)
壓力值與狀態(tài)
冷卻過(guò)程
熱板采用雙側(cè)均勻主動(dòng)冷卻。
其他
默認(rèn)配置互鎖功能和緊急停止按鈕（EMO ）。
特殊之處
該烘箱也可集成到生產(chǎn)線(xiàn)中。腔室的開(kāi)啟 / 關(guān)閉通過(guò)按鈕操作實(shí)現(xiàn) 。

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工藝氣體
除氮?dú)?、氧氣、成形氣等?biāo)準(zhǔn)工藝氣體外，該系統(tǒng)（取決于型號(hào)）還可使用純氫氣（可選配 H2 和 HS2）。腔室采用密封設(shè)計(jì)，易于清潔。選配 RSS-FA 可使用甲酸，以實(shí)現(xiàn)無(wú)空洞焊接效果。

流量控制
標(biāo)配 1 條帶質(zhì)量流量控制器（MFC）的氣體管路。甲酸模塊（RSS-FA）或 100% 氫氣（RSS-H2）等選配件，由獨(dú)立質(zhì)量流量控制器控制或共用氣體管路。

真空
系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn) 10?3 百帕的真空度?？蛇x配件包括膜片泵、耐化學(xué)泵（使用 RSS-FA 時(shí)推薦）和旋片泵。

溫度分布
最高溫度為 400°C（可選配至 500°C）。核心特點(diǎn)是精確控制的快速升溫（取決于型號(hào)，最高 240 K / 分鐘）和降溫速率（最高 120 K / 分鐘）。熱板具有優(yōu)異的溫度分布性和均勻性。

編程

系統(tǒng)配備 7 英寸觸摸屏，可直接在設(shè)備上便捷編程?？纱鎯?chǔ) 50 個(gè)程序，每個(gè)程序含 50 個(gè)步驟?？蓮耐獠看鎯?chǔ)介質(zhì)無(wú)上傳和下載程序。

過(guò)程控制
該軟件可對(duì)以下內(nèi)容進(jìn)行持續(xù)監(jiān)控、讀取和分析：