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RSO-210 真空燒結(jié)爐回流焊系統(tǒng)

簡要描述：RSO-210 真空燒結(jié)爐回流焊系統(tǒng)
適用基板尺寸為 210 毫米 ×210 毫米或 8 英寸晶圓。最高溫度：650°C。升溫速率最高可達(dá) 10 開爾文 / 秒。真空度可達(dá) 10?³ 百帕。帶有用于氮?dú)獾馁|(zhì)量流量控制器的工藝氣路。配備 7 英寸觸摸屏的 SIMATIC® 控制器。

產(chǎn)品型號：

所屬分類：RSO-210 真空燒結(jié)爐回流焊系統(tǒng)

更新時間：2025-07-11

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

詳情介紹

RSO-210 真空燒結(jié)爐回流焊系統(tǒng)


RSO-210 真空燒結(jié)爐回流焊系統(tǒng)

應(yīng)用

RSO-210 回流焊系統(tǒng)是一款出色的設(shè)備，適用于多種焊接應(yīng)用，可處理尺寸達(dá) 210×210 毫米的基板或 8 英寸晶圓。


許多回流焊應(yīng)用要求回流焊爐內(nèi)的工藝區(qū)域?yàn)槎栊原h(huán)境（無氧）。用于吹掃腔室中氧氣的氣體通常為氮?dú)狻５獨(dú)舛栊曰亓鞴に囉幸韵聝蓚€優(yōu)勢：


氮?dú)饪芍脫Q氧氣，因其惰性（非反應(yīng)性）特性，能提供更大的曲線靈活性并拓寬工藝窗口。


應(yīng)用示例：
適用于各類研發(fā)人員實(shí)施和研究新工藝的實(shí)驗(yàn)室爐、原型研究、環(huán)境研究，以及小批量試產(chǎn)或量產(chǎn)。

工藝氣體

RSO-210 可使用標(biāo)準(zhǔn)工藝氣體，如氮?dú)?、氧氣和形成氣。腔室密封且易于清潔?/div>

流量計

默認(rèn)配置一路帶質(zhì)量流量控制器（MFC）的氮?dú)饬髀罚? 標(biāo)準(zhǔn)升 / 分鐘），還可增配三路氣路（選配件：質(zhì)量流量控制器）。

真空

該系統(tǒng)的真空度可達(dá) 10?3 百帕。如需更高真空度，我們提供 RSO-210-HV 型號（詳見單獨(dú)的數(shù)據(jù)表）。

加熱

可達(dá)到的最高溫度為 650°C。其關(guān)鍵特點(diǎn)是精準(zhǔn)控制的快速升溫速率（10 開爾文 / 秒）和出色的降溫速率（取決于溫度和負(fù)載）。

溫度分布

RSO-210 能實(shí)現(xiàn)溫度分布與均勻性。標(biāo)配石墨基座（升溫速率限制為 10 開爾文 / 秒）。

編程

RSO-210 配備 7 英寸觸摸屏，可直接在設(shè)備上輕松便捷地進(jìn)行編程。可存儲 50 個程序，每個程序含 50 個步驟?？蓮耐獠看鎯橘|(zhì)無限制地上傳和下載程序。

工藝控制

該軟件可對以下參數(shù)進(jìn)行持續(xù)監(jiān)測、讀取和分析：


  • 溫度

  • 工藝氣體流量

  • 冷卻水位狀態(tài)

  • 壓力值及狀態(tài)


冷卻

石英腔室內(nèi)工件的冷卻是通過氮?dú)鈱?shí)現(xiàn)的，氮?dú)鈺ㄈ肭皇?。對于腔室外殼的冷卻，我們推薦使用閉環(huán)水冷卻系統(tǒng)（配件：WC - II 或 WC - III）。

其他

標(biāo)配互鎖功能和緊急停止按鈕（EMO）。

特殊配置

該烘箱也可訂購為 “雙腔烘箱"。通過增加第二個工藝腔室（選配件：RSO - PC - 210），烘箱將配備 2 個工藝腔室和 1 個控制單元。當(dāng)需要進(jìn)行 2 種不同工藝，且因污染或其他原因無需清潔腔室時，這種配置能節(jié)省成本。


RSO-210 真空燒結(jié)爐回流焊系統(tǒng)


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