KLA Candela® 6300系列光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)基于激光的硬盤驅(qū)動(dòng)器基板檢測系統(tǒng)，可測量整個(gè)磁盤的表面形貌，微觀粗糙度和波紋度，并檢查晶圓表面是否存在缺陷。自動(dòng)化模型Candela 6340配有片盒對片盒傳輸系統(tǒng)。

KLA Candela® 6300系列光學(xué)表面分析儀系統(tǒng)利用多通道光學(xué)設(shè)計(jì)，結(jié)合激光穩(wěn)定性管理技術(shù)，以及強(qiáng)大的光學(xué)表面測量功能，對邊緣roll-off、紋理/拋光均勻性、高密度互連的表征以及劃痕和微粒進(jìn)行檢測。檢測和量測系統(tǒng)的光學(xué)掃描技術(shù)可在徑向和切線方向上對整個(gè)磁盤的形貌進(jìn)行量測，并允許制造商使用單一的工具來測量整個(gè)空間光譜。KLA Candela® 6300系列增加了激光功率、降低了本底噪聲以及新的光學(xué)設(shè)計(jì)消除了對用于缺陷檢測的濺射玻璃基板的需求，從而可以識(shí)別<0.1&angst;的粗糙度變化。

功能

• 提供業(yè)界最寬的空間帶寬和優(yōu)秀的本底噪聲

• 測量切向、徑向粗糙度和波紋度

• 可重復(fù)量測金屬和玻璃介質(zhì)并與AFM測量結(jié)果相關(guān)聯(lián)

• 對不同尺寸的磁盤進(jìn)行快速的全晶圓檢測

• 對輕微劃痕、沾污和微粒檢測具有高靈敏度

• 創(chuàng)新型光學(xué)表面分析(OSA)技術(shù)

• 可提供手動(dòng)(6310) 或全自動(dòng)(6340)

應(yīng)用案例

• 粗糙度和波紋度分析

• 缺陷檢測

• 劃痕和隆起檢查

• 微粒和沾污檢測

• 微觀波紋度測量

選項(xiàng)

• 精密的金剛石劃線

• 離線軟件

• 大尺寸軟件許可證