KLA Candela® 7100系列缺陷檢測和分類系統(tǒng)這套檢測系統(tǒng)以激光為基礎(chǔ)，能夠?qū)τ脖P驅(qū)動器的基板和介質(zhì)進行高靈敏度的表面缺陷檢測，同時具有多條光學(xué)路徑，用于對亞微米凹坑和微粒進行分類。自動化模型Candela 7140配有片盒對片盒傳輸系統(tǒng)。

KLA Candela® 7100系列缺陷檢測和分類系統(tǒng)高級缺陷檢測和分類系統(tǒng)是專為硬盤驅(qū)動器基板和介質(zhì)而設(shè)計的。高功率雙波長激光器針對當(dāng)前的關(guān)鍵缺陷挑戰(zhàn)進行了優(yōu)化，多通道散射檢測器為全系列基板上亞微米凹坑、凸起、微粒以及被埋入的缺陷的分類提供了更高的靈敏度。KLA Candela® 7100系列的功能和穩(wěn)定性確保了一個平臺可用于多個工藝控制應(yīng)用點。

功能

• 通過整個磁盤的缺陷圖對金屬和玻璃、基板和介質(zhì)上的亞微米凹坑、凸起、微粒以及被埋入的缺陷進行檢測和分類

• 通過整個磁盤的缺陷圖來更快地獲得結(jié)果，同時附帶對缺陷進行分類以及數(shù)據(jù)輸出可操作的功能

• 減少對離線檢測技術(shù)(AFM、SEM、TEM等)的依賴，從而降低總擁有成本

• 提供手動(7110)或全自動(7140)配置

應(yīng)用案例

• 缺陷檢測

• 劃痕和隆起檢查

• 微粒和沾污檢測

• 激光紋理分析

• 碳均勻性分析和碳空洞檢測

• 對記錄層和軟襯層進行檢測

• 潤滑油均勻度分析

• 磁共振成像

選項

• 精密的金剛石劃線

• 高靈敏度選項

• 磁共振成像

• 離線軟件