Model 656 紫外線光強與能量計
簡要描述:Model 656 紫外線光強與能量計由OAI設計與制造。適用于所有接觸式 / 近接式掩模對準器和泛光曝光系統(tǒng)。
產(chǎn)品型號:
所屬分類:Model 656 紫外線光強與能量計
更新時間:2025-07-09
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
詳情介紹

Model 656 紫外線光強與能量計
半個多世紀以來,OAI 在用于半導體、微機電系統(tǒng)(MEMS)、晶圓封裝和晶圓凸點制造等行業(yè)光刻工藝可靠、精準校準控制的紫外光強與能量測量儀器領域。新型 656 型是一款*的紫外曝光分析儀,專為接觸式 / 近接式掩模對準器和泛光曝光系統(tǒng)設計。該儀器可存儲多達 400 組曝光讀數(shù),配備以太網(wǎng)和 USB 接口用于下載記錄的測量數(shù)據(jù),光強量程最高可達 2000 毫瓦每平方厘米。探頭可選波長包括 220 納米、248 納米、260 納米、310 納米、325 納米、365 納米、380 納米、400 納米、420 納米、436 納米和 540 納米。OAI 擁有完備的校準實驗室,以保障我們儀器的性能、質(zhì)量和可靠性。656 型儀器可溯源至美國國家標準與技術研究院(NIST)標準,且符合歐盟 RoHS 2(《關于限制在電子電氣設備中使用某些有害成分指令》第二版 )和 CE(歐洲合格評定)認證要求 。
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用戶界面:觸摸屏
計算機接口:可選以太網(wǎng)和 USB 接口,用于下載已記錄的測量數(shù)據(jù)
電源:電池供電,采用帶充電保護的 3.7V 可充電鋰離子電池
充電器電源:110 - 240V 交流電壓
顯示設置:雙屏幕
設置屏幕 - 以太網(wǎng)地址、日期和時間
運行屏幕 - 波長、光強、時間、劑量、探頭溫度、探頭類型、偏差百分比、序列號、校準到期日期、電池狀態(tài)、探頭序列號和充電器狀態(tài)
存儲容量:最多 400 個讀數(shù)
光強范圍:最高 2000mW/cm2
光強分辨率:0.01mW/cm2
劑量范圍:最高 1000J/cm2
劑量分辨率:0.01mJ/cm2
時間范圍:最長 9999 秒
時間分辨率:0.0001 秒
最小劑量曝光:25 毫秒
尺寸:14 英寸 ×8.25 英寸 ×3.5 英寸
重量:3.5 磅
工作環(huán)境:15℃ - 40℃
合規(guī)性:符合 ROHS2 及 CE(電磁兼容性和安全)標準
探頭探測器:硅光電二極管
可選波長:220nm、248nm、254nm、260nm、310nm、325nm、365nm、380nm、400nm、420nm、436nm 和 540nm
濾光片:多層吸收 / 電介質(zhì)濾光片
光強范圍:最高 2000mW/cm2
互換性:任何 656 型探頭均可與任何 656 型儀表配合使用
合規(guī)性:符合 ROHS2 及 CE(電磁兼容性和安全)標準