Model 659 紫外線光強(qiáng)與能量計(jì)
簡(jiǎn)要描述：Model 659 紫外線光強(qiáng)與能量計(jì)由OAI設(shè)計(jì)與制造。適用于所有晶圓步進(jìn)光刻機(jī)的 659 型紫外線光強(qiáng)與能量計(jì) 。
產(chǎn)品型號(hào)：
所屬分類：Model 659 紫外線光強(qiáng)與能量計(jì)
更新時(shí)間：2025-07-09
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
詳情介紹
Model 659 紫外線光強(qiáng)與能量計(jì)
半個(gè)多世紀(jì)以來(lái)，OAI 在紫外線光強(qiáng)與能量測(cè)量?jī)x器領(lǐng)域一直較高水平。該儀器能為半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、晶圓封裝及晶圓凸點(diǎn)制作行業(yè)的光刻工藝，提供可靠、精準(zhǔn)且經(jīng)校準(zhǔn)的控制。659 型是一款*的紫外線曝光分析儀，專為適配各類晶圓步進(jìn)光刻機(jī)（包括高強(qiáng)度晶圓步進(jìn)光刻機(jī) ）而設(shè)計(jì)。這款儀器可存儲(chǔ)多達(dá) 400 組曝光讀數(shù)，配備以太網(wǎng)和 USB 接口用于下載已記錄的測(cè)量數(shù)據(jù)，光強(qiáng)量程最高可達(dá) 7500 毫瓦每平方厘米 。探頭可選波長(zhǎng)為 365 納米、400 納米、420 納米和 436 納米 。OAI 擁有完備的校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室，以確保我們儀器的性能、質(zhì)量和可靠性 。659 型儀器可溯源至美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院（NIST）標(biāo)準(zhǔn)，且符合 ROHS2（《關(guān)于限制在電子電氣設(shè)備中使用某些有害成分的指令》第二版 ）及 CE（歐洲合格評(píng)定 ）認(rèn)證要求 。
可與任何晶圓步進(jìn)光刻機(jī)配套使用
極為精準(zhǔn)且可靠
適配高強(qiáng)度晶圓步進(jìn)光刻機(jī)
測(cè)量數(shù)據(jù)易于下載
量程高達(dá) 7500 毫瓦每平方厘米
最多可存儲(chǔ) 400 組測(cè)量數(shù)據(jù)
符合 ROHS2（《關(guān)于限制在電子電氣設(shè)備中使用某些有害成分的指令》第二版 ）及 CE（歐洲合格評(píng)定）標(biāo)準(zhǔn)
探頭
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用戶界面：觸摸屏
計(jì)算機(jī)接口：可選以太網(wǎng)和 USB 接口，用于下載已記錄的測(cè)量數(shù)據(jù)
電源：電池供電，采用帶充電保護(hù)的 3.7V 可充電鋰離子電池
充電器電源：110 - 240V 交流電壓
顯示設(shè)置：雙屏幕
設(shè)置屏幕 - 以太網(wǎng)地址、日期和時(shí)間
運(yùn)行屏幕 - 波長(zhǎng)、光強(qiáng)、時(shí)間、劑量、探頭溫度、探頭類型、偏差百分比、序列號(hào)、校準(zhǔn)到期日期、電池狀態(tài)、探頭序列號(hào)及充電器狀態(tài)
存儲(chǔ)容量：最多 400 個(gè)讀數(shù)
光強(qiáng)范圍：最高 7500mW/cm2
光強(qiáng)分辨率：0.01mW/cm2
劑量范圍：最高 1000J/cm2
劑量分辨率：0.01mJ/cm2
時(shí)間范圍：最長(zhǎng) 9999 秒
時(shí)間分辨率：0.0001 秒
最小劑量曝光：25 毫秒
尺寸：14 英寸 ×8.25 英寸 ×3.5 英寸
重量：3.5 磅
工作環(huán)境：15℃ - 40℃
合規(guī)性：符合 ROHS2 及 CE（電磁兼容性和安全）標(biāo)準(zhǔn)
探頭探測(cè)器：硅光電二極管
可選波長(zhǎng)（納米）：365、400、420、436
濾光片：多層吸收 / 電介質(zhì)濾光片
光強(qiáng)范圍：最高 7500mW/cm2
互換性：任何 659 型探頭均可與任何 659 型儀表配合使用
合規(guī)性：符合 ROHS2 及 CE（電磁兼容性和安全）標(biāo)準(zhǔn)
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