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KLA HRP®-260 探針式輪廓儀是一個(gè)高分辨率、自動(dòng)化探針式輪廓儀，提供從幾納米到 300 微米的臺(tái)階高度測(cè)量功能。P-260支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測(cè)量，掃描范圍可達(dá) 200 毫米且無(wú)需拼接。HRP®-260配置了與 P-260 相同的功能，但增加了高分辨率樣品臺(tái)以獲得類似 AFM 的掃描結(jié)果。

KLA Tencor® P-170 探針式輪廓儀是一款自動(dòng)化輪廓儀，可為生產(chǎn)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量功能。該系統(tǒng)支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，掃描范圍可達(dá)200毫米而無(wú)需拼接。Tencor P-170具有優(yōu)良的圖形識(shí)別算法、增強(qiáng)的光學(xué)系統(tǒng)和優(yōu)良的樣品臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的性能和系統(tǒng)之間程式傳輸?shù)臒o(wú)縫銜接 - 這是實(shí)現(xiàn)全天候生產(chǎn)的關(guān)鍵。

KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀能夠測(cè)量幾納米到1200微米高的2D臺(tái)階。D-500也支持在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)中對(duì)粗糙度、彎曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D測(cè)量。D-500探針式輪廓儀搭載了140毫米手動(dòng)載臺(tái)和具有增強(qiáng)影像控制的高級(jí)光學(xué)系統(tǒng)。

KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量功能。該系統(tǒng)支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測(cè)量，掃描范圍可達(dá)200毫米，無(wú)需拼接。

KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)節(jié)提供了從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量功能。該系統(tǒng)支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測(cè)量，掃描范圍可達(dá)150毫米，無(wú)需拼接。