PIETergeo-pro等離子清洗機成功安裝案例:助力山東高等研究院科研升級近日,我公司銷售的美國PIE公司的Tergeo-pro等離子清洗機在山東高等研究院完成了成功安裝與調試,標志著雙方在科研設備領域的合作邁出了堅實一步。此次設備的順...
旋涂顯影系統(tǒng)是半導體制造、微電子加工以及光學器件制備等領域中至關重要的工藝設備之一。它主要通過高速旋轉的方式,將液態(tài)的光刻膠均勻地涂覆在硅片等基底表面,隨后經(jīng)過顯影等后續(xù)處理,形成所需的圖案,為后續(xù)的蝕刻、摻雜等工藝步驟奠定基礎。旋涂顯影系...
薄膜沉積系統(tǒng)的核心功能模塊通常包括真空腔體、氣源供應系統(tǒng)、能量輸入裝置及過程控制系統(tǒng)。真空腔體作為反應環(huán)境載體,需維持特定壓力范圍以調控氣相分子的平均自由程,從而優(yōu)化薄膜生長動力學。氣源供應系統(tǒng)通過精確配比不同氣體組分,實現(xiàn)薄膜化學成分的靈...
等離子刻蝕ICP技術以其高精度、高效率和高選擇性在微納加工領域中發(fā)揮著重要作用。通過了解其原理、應用及設備選擇和操作方法,可以更好地利用這一技術進行微電子器件、生物芯片和納米結構的制備。等離子刻蝕ICP設備的維護保養(yǎng)方法涉及多個方面:1.儀...
在納米科技和半導體工業(yè)的浪潮中,勻膠旋涂儀以其特殊的魅力,成為了材料制備和薄膜沉積過程中不可少的工具。這種設備通過高速旋轉基片,利用離心力將液體均勻地鋪展在基片表面,形成一層厚度可控、均勻性好的薄膜。這一過程不僅體現(xiàn)了物理學中離心力的巧妙應...
在半導體制造的精細工藝中,刻蝕、顯影與清洗是三個至關重要的步驟。它們共同構成了芯片生產(chǎn)中不可少的一環(huán),確保了電路圖案的準確轉移和芯片性能的穩(wěn)定??涛g顯影清洗系統(tǒng)是利用化學或物理方法去除材料表面特定區(qū)域的過程,它是半導體器件制造中形成微小結構...
熱重分析質譜儀(TG-MS)是一種結合了熱重分析(TG)和質譜分析(MS)的分析技術,廣泛應用于材料科學、化學工程以及環(huán)境監(jiān)測等領域。1.熱重分析(TG):熱重分析是指在程序控制溫度下測量待測樣品的質量與溫度變化關系的一種熱分析技術。通過記...
等離子清洗機主要由真空系統(tǒng)、氣體供應系統(tǒng)、射頻發(fā)生器、控制系統(tǒng)等部分組成。工作原理是:首先將待處理的材料放入真空室中,通過真空泵將真空室內的氣壓降低到一定程度;然后向真空室內通入惰性氣體(如氬氣、氮氣等),在射頻電場的作用下,氣體分子被激發(fā)...
激光二極管,簡稱LD,是現(xiàn)代光電技術中不可少的核心組件,廣泛應用于光通信、醫(yī)療、工業(yè)加工及消費電子產(chǎn)品等領域。隨著技術的發(fā)展和應用需求的擴大,對激光二極管性能的測試變得尤為重要。激光二極管測試儀器便是專門用來評估和保證激光二極管性能的關鍵設...
微波等離子去膠機是現(xiàn)代電子制造領域中不可少的重要設備,主要用于半導體芯片生產(chǎn)中的光刻膠去除、表面預處理和減薄等工序。配置磁流體旋轉架,使微波等離子體更加均勻的輸出。這種技術的運用不僅提高了去膠效果,而且能夠做到無損硅片與其他金屬器件的處理。...